特种混合气体-安徽谱纯-呼和浩特特种气体

 特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，特种气体价格，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体，其中常用的有20～30 种。电子工业是当今推动科技发展的---产业，特种混合气体，由于所用气体的品种多、要求高，电子特种气体，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。

特种气体的储存注意事项：根据储存的气体类型设置标牌，如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒---、空气呼吸器等设施。灭菌特种气体可杀灭---（及其内孢子）、霉菌及---，因此可用于消毒一些不---受高温消毒的物品。特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 lpcvd 沉积 tco 工序用到 dezn、b2h6；非晶/微晶硅沉积工序用到 sih4、ph3/h2、 tmb/h2、ch4、nf3 等。