四---碳公司-安徽谱纯-泉州四---碳

电子四---碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一，在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻，四---碳批发，以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾---，---四---碳（cf4）的纯度和安全稳定使用。在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，经精馏而得成品。由碳与氟反应，或与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，都能生成四---碳。

四---碳的用途与作用 :

 四---碳是可作为氟和自由基---碳的来源，用于各种晶片蚀刻工艺。四---碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四---碳在通常环境下是相对惰性的，在不通风的地方会引起窒息。在射频等离子体环境中，氟自由基表现为典型的三---碳或二---碳的形式。高纯度的四---碳能---的控制加工过程，使尺寸和形状得到---的控制，这不同于其他的卤烃遇到空气或氧气时不利于各种特殊的控制（如半导体各项---控制）。