安徽谱纯,安全----四---碳气体-重庆四---碳

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    2024-2-1

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对于硅和二氧化硅体系,采用cf4-o2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。四---碳在不同的---压下呈现的状态是不同的,就像氧气在101kpa时会呈现出液态。四---碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,发挥性较高.预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,四---碳气体,氟气先和单质硅反应。







四---碳是目前微电子工业中用量大的等离子烛刻气体,其高纯气及四---碳高纯气配高纯阳氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,高浓度四---碳,cf4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。







电子四---碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾---,---四---碳(cf4)的纯度和安全稳定使用。高纯四---碳是纯度在99.999%以上的四---碳产品,是一种无色无味气体。高纯四---碳不可燃烧,在常温常压条件下化学性质稳定,在密闭容器中遇高热有危险,不溶于水,可溶于---、等部分溶剂。四---碳作为制冷剂是一种无色不可燃气体,重庆四---碳,能够保障液体运输的安全性。在---医学中,四---碳还是一种高浓度的醉剂。由以上看出,四---碳价格,四---碳的应用范围广泛,在下游电子产业等带动下,行业快速发展。



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