特种气体应用于---的很多行业， 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着---的作用。我国特种气体经过30余年的发展，特种气体供应商， 无论在气体品种上，还是在数量上， 都以的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求。电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的产品。自80年代1开始，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达水平相近。
特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、led 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种气体在集成电路领域的应用：特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料，处于半导体产业链的 上游，被称为半导体的“源”，主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
特种气体的储存注意事项：根据储存的气体类型设置标牌，如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒---、空气呼吸器等设施。灭菌特种气体可杀灭---（及其内孢子）、霉菌及---，因此可用于消毒一些不---受高温消毒的物品。特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 lpcvd 沉积 tco 工序用到 dezn、b2h6；非晶/微晶硅沉积工序用到 sih4、ph3/h2、 tmb/h2、ch4、nf3 等。
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