安徽谱纯,品种齐全-高纯四---碳-安徽四---碳

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    2023-11-28

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电子四---碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾---,---四---碳(cf4)的纯度和安全稳定使用。高纯四---碳是纯度在99.999%以上的四---碳产品,是一种无色无味气体。高纯四---碳不可燃烧,在常温常压条件下化学性质稳定,在密闭容器中遇高热有危险,不溶于水,可溶于---、等部分溶剂。四---碳作为制冷剂是一种无色不可燃气体,能够保障液体运输的安全性。在---医学中,四---碳还是一种高浓度的醉剂。由以上看出,四---碳的应用范围广泛,在下游电子产业等带动下,行业快速发展。



它在---中的寿命约为50,000年,增温(暖化)系数是6,500(---的系数是1)。虽然结构与氟氯烃相似,但四---碳不会破坏臭氧层。四---碳是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,高纯四---碳,其高纯气及四---碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应。






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