




激---体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体,对气体要求高,激光混合气配制精度要求高,高纯---纯度达99.999%,高纯氮气的纯度99.999%,高纯---气的纯度要求99.999%,---是产生激光的,---气是冷却激光器的,氮气是平衡气体,气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大,能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。近年来co2激光加工设备虽然渐趋普及,但激光毕竟是一种新的工具,激光加工技术亦不同于传统的加工方法,所以工业界在引进使用co2激光器的过程中,曾经遇到各种各样的问题,给很多厂商造成不少困扰。激光切割领域较长使用的---激光混合气体,这里---就是产生激光作用的---气体。---激光混合气体目前存在切割线粗,毛边多,并且切割钢板的厚度很有限,一般都在10mm左右。
分子气体:---激光和氮气激光是常见的分子气体激光,其主要激光光分属红外线(10,---氟激光混合气,640 nm)及紫外线(337 nm)。生物组织中的水分会吸收它的10,640 nm激光光,所以能用于手术,所需激光光功率约为50w。此外,非金属材料的加工、金属表面的热处理、光谱学及光化学研讨、环境遥测、测距、激起其他激光、发生离子体(俗称电浆;plasma)等,也都可用---激光来进行。重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如arf, krf, xef, krcl, xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,---是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。
激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体,对气体要求高,激光混合气配制精度要求高,高纯---纯度达99.999%,高纯氮气的纯度99.999%,高纯---气的纯度要求99.999%,---是产生激光的,---气是冷却激光器的,氮气是平衡气体,气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大,能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光,---激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光,可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。
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