目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射， 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样， 显示适当的危险标记(例如、、有毒等) 。
特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，特种气体，也就是气体类别中的电子气体，特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，特种气体厂家，被称为集成电路、液晶面板、led 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种气体在集成电路领域的应用：特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料，特种气体公司，处于半导体产业链的 上游，被称为半导体的“源”，特种气体供应，主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
特种气体的储存注意事项：根据储存的气体类型设置标牌，如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒---、空气呼吸器等设施。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类，电子特种气体（简称电子特气）是特种气体的 一个重要分支，是---规模集成电路（ic）、平面显示器件（lcd、led、oled）、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和---性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和---性，
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