




au,cu,ba,sn,pb,zn等金属的蒸汽,都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中,常混入低压力的惰性气体,以提高放电效率。激光切割机用的激光混合气体,二维激光切割机床用的四元激光混合气体,主要用于钢材的钣金加工。重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如arf,激光混合气公司, krf, xef, krcl, xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。
气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光,---激光混合气体是第二代气体激光,激光混合气厂家,在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光,激光混合气,可称为第三代激光。一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。
气体激光(gaseous laser),以气体为自动介质的激光中,包含中性原子激光、离子气体激光、金属蒸汽激光、分子气体激光、准分子激光。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,---是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光,---激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光,可称为第三代激光。au,cu,ba,激光混合气,sn,pb,zn等金属的蒸汽,都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中,常混入低压力的惰性气体,以提高放电效率。
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