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气体激光(gaseous laser)，以气体为自动介质的激光中，包含中性原子激光、离子气体激光、金属蒸汽激光、分子气体激光、准分子激光。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，---是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光，---激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光，可称为第三代激光。au，cu，密封束激---，ba，sn，pb，zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。

近年来co2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用co2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如arf， krf， xef， krcl， xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。激---体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯---纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯---气的纯度要求99.999%，---是产生激光的，---气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。