电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，电子气体，因此成为衡量半导体技术的产品。根据有关数据显示，---种功能电子气体市场规模逐年增长，仅2016年，---种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是，从产业链以及技术层面欧美占据较好的---。特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体，另一类为混合气体。对于单元高纯气体，根据现已收集到的文献，汇总起来共有227种，可分成五个类别。
特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 pocl3 和 o2，减反射层 pecvd 工艺用到 sih4、nh3，刻蚀工艺用到 cf4；特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，---是微电子技术的发展而发展起来的。灭菌特种气体主要应用于（绷带、缝线及手术器具）、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。
特种气体 spe---lily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。特种气体应用于---的很多行业， 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着---的作用。我国特种气体经过30余年的发展， 无论在气体品种上，还是在数量上， 都以的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求。
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