重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如arf， krf， xef， krcl，激光混合气体生产厂家， xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯---纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯---气的纯度要求99.999%，---是产生激光的，---气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。20w机型可发生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可见光波长分别是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。蓝绿光波段中，而的是514.5及488 nm。---离子激光可发生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次为413.1及530.9 nm。产品中，有将氩气与---气混合的机型。
激光切割机所用气体的种类和作用：1）空气：作为切割气体使用 作为冷却切使用 作为光路内部除尘使用（保护镜片延长镜片的使用时间）2）普氧：作为切割碳钢的气体（助燃性）纯度99.5%3）纯氮：作为切割不锈钢的气体（冷却性）纯度99.9%（切割碳钢速度为3/4） 4）高纯氮：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%5）高纯---：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%6）高纯---：作为激光器的使用气体，纯度：99.999% ；气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。目元激光混合气体的佳方案组成比例：co:4%，co2：8%，he:28%，n2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到输出功率，并且大切割钢板厚度达到25mm，还可以---的---工件。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将---（he）---（ne）激光作为代气体激光，---激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------（krf）激光，可称为第三代激光。一方面氩激光很少见，另一方面为了便于称号，人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此，英文文献亦见此用法，所以在不致混杂的时候，仍可用氩激光称号氩离子激光。
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