




特种气体系统:
主管路系统的设计
对于低蒸汽压气体(wf6,北京特种气体,dcs,bcl3,特种气体价格,c5f8,clf3等),需要考虑钢瓶加热,气体面板加热,管道伴热等。为了精1确控制流量,在气源端一般会考虑配置的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了流量计,压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体,应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计,即整个管道系统从气柜到vmb、从vmb到用气点,要点对点,特种气体厂家,中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此,整个管路系统中由vmb完成气体的分配,中间没有三通。后管道还要有---的接地。
co2原料气中包含的大量烃、硫类杂质传统精馏无法去除,本公司经过多年潜心研究和多项实验,研发出的多元精馏添加剂---了杂质共沸而无法除去的技术难题,电子特种气体,使用精馏代替粗脱硫、水解、精脱硫、脱烃、二次脱水等多种工段,较传统工艺---投资降低 50%。用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
特种气体的介绍
主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下,通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。
应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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